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84 第84章 现在就拆给你看（第2页）

是巧合吗？

虽然5.9显然是远远不达标的，但严辉却似乎意识到了什么，有些惊讶地转头看向康驰。

“你……计算好的？”

“算是吧。”

康驰点了点头。

这下严辉彻底呆住了，

要知道，化学机械抛光的技术难点，除了抛光设备的硬件要达标之外，还要根据设备性能、硅片参数，来调配化学抛光液，以达到化学抛光和机械抛光的完美配合。

要想调试得好，先就需要对设备了如指掌，其次这是丰富的抛光液调配经验。

但康驰仅仅只是通过一次实验演示，就能看似轻松地报出两组不同成分的抛光液，并在后续的实验中，达到同一数值的平整度……

这多少有点匪夷所思了吧？

哪怕是已经参与过无数次测试的严辉，在没有经过计算机模拟的情况下，也绝对做不到如此精准的控制，

估计误差至少得有个o.3nmRms。

他有些难以置信地问道：“你到底是怎么做到的？”

“嗯，我也说不上来……可能是某种直觉吧，我这人对机械的东西，敏感度还挺高的。”

康驰思索了片刻，又接着说道，

“我估计伱这台抛光机，能稳定挥的正常水平，应该就是3.onmRms左右，2.6nmRms只是你们因为偶然因素才意外达到的，肯定不会过三次。”

严辉再次愣了愣，显然是被康驰猜中了。

“确实，只有一次……”

康驰本来还想说点什么，结果肚子都已经饿得咕咕叫了，

看了看时间，现三轮实验过后，竟然已经不知不觉都到了晚上八点。

“不好意思，一个没注意都这这么晚了……大家赶紧收拾收拾，先去吃饭吧，今天辛苦你们了。”

“嗯。”

严辉点了点头道，“那大家吃完饭，九点再回来继续。”

“回来继续？”

康驰不由露出了奇怪的表情，“继续干嘛？”

“做实验啊。”

“没用的，这根本不是抛光液的比例问题，你们这是在做无用功。”

康驰直接摇头道，“吃完饭早点回家洗洗睡吧，明天我们再过来把抛光机拆了，如果我没猜错的话，是你们的设备安装有问题。”